產(chǎn)品名稱(chēng) | 氮化鋁陶瓷晶圓載盤(pán) |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 可按圖紙定制 |
粗糙度 | 0.1μm |
材料成分 | 氮化鋁陶瓷 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀! |
立即咨詢
0769-82913501 |
氮化鋁晶圓載體是用于在半導(dǎo)體設(shè)備(如沉積、刻蝕或熱處理)步驟中運(yùn)送晶圓的載體。它可以通過(guò)靜電吸附技術(shù)固定晶圓,防止晶圓翹曲變形。常見(jiàn)的有通用的12英寸300毫米氮化鋁晶圓載體和定制的氮化鋁晶圓載體。氮化鋁陶瓷具有超高導(dǎo)熱性、電絕緣性、無(wú)毒環(huán)保,還可以加工成復(fù)雜形狀(靜電吸盤(pán)、加熱器、夾具、臂等部件)。
我們是一家專(zhuān)業(yè)的超硬陶瓷材料制造商,在氮化鋁陶瓷加工方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。無(wú)論您需要為您的項(xiàng)目訂購(gòu)板材、棒材、管材、晶圓載體、導(dǎo)熱板還是其他定制氮化鋁 (AIN) 組件,都可以聯(lián)系我們的專(zhuān)家進(jìn)行免費(fèi)咨詢,我們將竭誠(chéng)為您提供服務(wù)。
氮化鋁晶圓載體的主要特點(diǎn)
導(dǎo)熱系數(shù)高達(dá)170W/m·K,可有效為半導(dǎo)體器件散熱
絕緣性能良好,可防止靜電損壞器件
耐化學(xué)腐蝕,可在惡劣環(huán)境下使用
尺寸穩(wěn)定性高,可精確定位
適用于精密加工,支持復(fù)雜形狀
無(wú)毒環(huán)保