產品名稱 | 氧化鋁蝕刻環 |
加工精度 | 0.001mm |
是否定制 | 來圖定制 |
粗糙度 | 0.001um |
材料成分 | 氧化鋁 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
立即咨詢
0769-82913501 |
陶瓷蝕刻環是半導體刻蝕工藝的關鍵部件。當選擇鋁合金作為刻蝕腔體材料時,很容易造成金屬顆粒污染。因此,高純度(99.5% 以上)氧化鋁陶瓷被用于制造陶瓷蝕刻環,作為等離子刻蝕設備的腔體材料。
高純氧化鋁99.7%-99.9%
機械強度高、高耐磨性、高電絕緣、高化學穩定性、良好的耐熱性和耐腐蝕性。目前,采用陶瓷研磨盤研磨半導體硅片是最優越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進行研磨,通過改善研磨工藝(磨盤材質、研磨液、研磨壓力及研磨轉速等)來提高研磨片的質量;尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤,避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染,減少了金屬離子的引入,可減少硅片的后續加工量縮短了后續工序(腐蝕)時間,提高了生產效率,而且減少了硅片加工的損耗,大大地提高了硅片的利用率。
jundro 陶瓷在氧化鋁陶瓷加工領域展現出多維度的獨特優勢,憑借深耕行業多年的技術沉淀與工藝創新,為全球半導體、電子封裝、新能源等領域的客戶提供了高精度、高可靠性、定制化的氮化鋁陶瓷產品及解決方案,成為眾多客戶項目落地的核心助力。