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石英玻璃兩大標準體系詳解:面向應用的中國JGS系列(JGS1/JGS2/JGS3)與定義極限的康寧7980(HPFS?)

文章出處:http://www.shsuntier.com.cn/news/944.html人氣:3時間:2025-12-20

石英玻璃,這一看似普通的透明材料,是現代科技體系中不可或缺的關鍵基礎材料。其核心成分為非晶態二氧化硅,通過高溫熔制或化學氣相沉積等工藝制成,性能遠超普通玻璃。

不可替代的核心特性
石英玻璃具備四大核心優勢:極低的熱膨脹系數(約0.5×10??/℃),確保極端溫度下的尺寸穩定性;卓越的光學透過性,覆蓋從深紫外(170nm)到近紅外的寬廣光譜;優異的化學純度和穩定性,耐受多數酸、堿及高溫侵蝕;極高的激光損傷閾值,適用于高能激光系統。這些特性使其成為苛刻環境下的首選材料。

主流型號:兩大體系的邏輯
全球石英玻璃主要分為兩大標準體系,選擇取決于具體應用需求。

中國標準JGS系列以應用為導向分為三類:

JGS1(紫外級)采用氣相沉積工藝,羥基含量低,專用于深紫外光刻及激光系統;

JGS2(光學級)由高純石英砂熔煉而成,性價比高,是可見光至近紅外光學元件的主流選擇;

JGS3(紅外級)則優化了特定紅外波段的透過性能。

國際標桿以康寧7980型(HPFS®)為代表,采用超高純化學氣相沉積法制備。它在純度(金屬雜質<1ppm)、紫外透過率(193nm處>99.9%)及折射率均勻性(達±5×10??)上定義了行業最高標準,是尖端光刻與基礎科學研究的核心材料。

選型邏輯:性能與需求的平衡
選型并非追求最高指標,而是精準匹配。對于大多數光學儀器和工業視窗,JGS2已完全勝任。當涉及深紫外或高功率激光時,需在JGS1與7980型間權衡:JGS1能滿足多數科研與工業需求,而追求極致性能與可靠性的最前沿半導體制造(如EUV光刻)則必須采用7980型。國防等強調供應鏈自主的領域,JGS系列是保障安全可控的基石。

無處不在的關鍵應用
石英玻璃的價值在其應用場景中充分體現:它是光刻機透鏡、將電路圖精確“印刷”于芯片;是太空望遠鏡的鏡片、凝視宇宙邊緣;是激光核聚變裝置的窗口、承受極高能量;也是光纖預制棒的核心、構筑全球信息網絡的脊梁。

石英玻璃以其極致的穩定性與純凈度,默默支撐著精密光學、半導體、航空航天、新能源等眾多高端科技領域的發展。

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