精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
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| 產品名稱 | 碳化硅陶瓷導軌 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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在半導體晶圓搬運、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設備中，碳化硅（SiC）導軌憑借其獨特性能，在高速、潔凈、高精度的運行環境中發揮著關鍵作用：
1. 高剛性支撐與精準定位
SiC 導軌具有極高的楊氏模量（~400 GPa），剛性遠超金屬或工程塑料。
可在高速搬運機械臂中保持微米級定位精度與軌跡重復性，減少形變量和振動影響。
特別適用于高精度搬運臂、線性滑臺和交叉滾柱滑軌結構中。
2. 耐磨損、長壽命運行
硬度高（Mohs 9+）、抗劃傷、耐微粒沖刷，適合長期在無潤滑或微潤滑工況下運行。
在低顆粒潔凈室環境（如 ISO Class 1–5）中，不易產生二次污染。
3. 熱穩定性優異
熱膨脹系數低（~4.2×10??/K），在熱循環或熱負載變化時結構穩定，不易發生熱脹冷縮變形。
在加熱傳輸設備、真空熱處理腔體內也能維持軌道精度。
4. 化學惰性，適合真空／腐蝕環境
SiC 抗腐蝕性能強，可在含氟、含氯等腐蝕性氣體環境中運行，適合半導體刻蝕、CVD、清洗后段制程設備。
在高真空或潔凈腔體中運行，不脫氣、不析出、低顆粒，是傳統金屬軌道的優質替代。
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碳化硅導軌與傳統材料對比
| 材料 | 剛性 | 導熱性 | 熱膨脹 | 耐磨性 | 顆粒釋放 | 適用環境 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 鋁合金 | 中 | 中 | 高 | 差 | 易氧化 | 普通環境 |
| 不銹鋼 | 高 | 低 | 中 | 一般 | 易磨屑 | 腐蝕性氣體差 |
| PEEK/塑料 | 低 | 低 | 高 | 差 | 易變形 | 低溫環境 |
| SiC | 極高 | 高 | 極低 | 優 | 極低 | 潔凈室 / 真空 / 腐蝕 |
