精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
全國服務熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
全國服務熱線
13412856568
| 產品名稱 | 氧化鋁晶圓搬運／支撐叉臂 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化鋁陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
|
立即咨詢
0769-82913501 |
|
在半導體領域，氧化鋁晶圓搬運／支撐叉臂，它的主要作用包括：
高溫爐（退火、CVD、PVD）內的晶圓載具
在幾百度乃至上千度的真空或惰性氣氛中，將晶圓置于爐管中心或反應區，并在工藝結束后安全取出。
陶瓷材質保證結構剛性且熱膨脹系數低，不會因反復劇烈升降溫而變形。
等離子刻蝕／沉積腔體中的電絕緣支架
U 型開口正好卡住晶圓邊緣，保持晶圓平面與電極或靶材有精確間隙。
氧化鋁的高介電強度防止電弧或短路，確保等離子場均勻。
無污染、低析出
氧化鋁極其惰性、低揮發、不出雜質，符合半導體超凈工藝（Ultra-High Purity）要求，避免對硅片表面產生污染。
精準定位與快速換片
末端螺孔或銷孔可與自動換片機器人（SMIF／FOUP 系統）或手動轉盤模組快裝／快拆，提升產線換爐／換腔效率。
材料優勢
高電絕緣性：在高壓或射頻環境下能隔離電路，常見于等離子體反應腔、電源模塊、真空腔體內支撐。
高溫耐受性：可長期在數百度甚至上千度環境中使用，適合真空爐、回火爐或熱處理設備中的支撐／定位。
耐磨損、化學穩定：可抵抗多數酸堿腐蝕，常用于半導體制造、光學儀器或化學反應器中。
