精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
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13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
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| 產品名稱 | 半導體微晶玻璃陶瓷 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 微晶玻璃陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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立即咨詢
0769-82913501 |
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Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數”和“超高尺寸穩定性”發揮關鍵作用：
光刻掩膜基板
用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實現納米級圖形轉移。
曝光系統光學元件
制作鏡筒內的反射鏡、分束器、棱鏡等，維持光路穩定、波面質量高，確保圖形對準和解析度。
干涉測量與對準平臺
用于光刻機、掃描電子顯微鏡（SEM）中的位移臺和標尺，保證測量系統在溫度波動時仍保持亞納米級定位精度。
真空／超凈環境機械支架
在刻蝕、薄膜沉積等高真空設備里作為載具或支架，低析出、低揮發，不會引入雜質污染。
晶圓處理夾具與載具
在高溫退火或溫度循環過程中，Zerodur支架可牢固支撐晶圓而不產生熱應力，避免翹曲與裂紋。
