康寧EAGLE XG：定義顯示基板性能標桿的無堿玻璃

   康寧EAGLE XG玻璃作為業(yè)界領(lǐng)先的無堿玻璃基板，以其卓越的材料特性，已從傳統(tǒng)的顯示應用擴展至對材料性能要求更為嚴苛的半導體先進封裝與高端光學器件領(lǐng)域。其核心價值在于為精密制造提供了一個近乎完美的無機材料平臺。

EAGLE XG玻璃的成功，根植于其一系列為嚴苛工藝環(huán)境設(shè)計的物理化學特性，這些特性在半導體和光學應用中尤為關(guān)鍵。

1. 絕對的無堿本質(zhì)：這是其最根本的特性。完全不含堿金屬離子（Na?、K?），從根本上消除了在半導體工藝的電場或高溫環(huán)境下，離子遷移污染敏感電路和器件的風險，確保了器件的長期可靠性和性能穩(wěn)定性。

2. 卓越的熱機械性能：

   極低且可調(diào)的熱膨脹系數(shù)：CTE可在約3-5 ppm/℃范圍內(nèi)進行調(diào)整，能夠與硅（約3 ppm/℃）、多種化合物半導體及封裝材料實現(xiàn)近乎完美的匹配。這在大尺寸晶圓級工藝中至關(guān)重要，能顯著減少熱應力引起的翹曲、分層或斷裂，提升良率。極高的熱穩(wěn)定性與低熱收縮：在反復的半導體封裝回流焊（可達260°C以上）或光學鍍膜高溫工藝中，保持優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性，確保套刻精度和器件對準。

3. 優(yōu)異的化學純凈度與耐受性：極高的本體純度，且對濕法清洗、干法蝕刻等工藝中使用的強酸、強堿及等離子體環(huán)境具有出色的抵抗能力，表面不易劣化。

4. 無與倫比的表面質(zhì)量：得益于康寧專利的熔融制程，玻璃表面為原生“火拋”狀態(tài)，無需機械拋光即可達到極低的表面粗糙度（可達亞納米級）和極低的亞表面損傷。這對于光學性能和平坦化沉積至關(guān)重要。

在半導體先進封裝領(lǐng)域的應用

隨著摩爾定律逼近物理極限，先進封裝成為提升系統(tǒng)性能的關(guān)鍵路徑。EAGLE XG玻璃正作為一種理想的中介層和晶圓級封裝基板材料脫穎而出。

• 扇出型（Fan-Out）與2.5D/3D封裝的中介層：其超低熱膨脹系數(shù)可匹配大尺寸硅中介層或芯片，大幅降低翹曲，提高封裝可靠性。極佳的平坦表面為高密度硅通孔（TSV）或再布線層（RDL）的微細光刻（線寬/線距可達2μm或更低）提供了理想平臺。其絕緣性和射頻性能也優(yōu)于有機基板。

• 臨時鍵合與載體玻璃：在超薄芯片制造和扇出型封裝工藝中，EAGLE XG玻璃可作為高強度的臨時鍵合載體。其優(yōu)異的熱穩(wěn)定性使其能承受減薄、背面工藝的高溫，并在去鍵合后保持完好，可重復使用。

• 微機電系統(tǒng)與傳感器封裝：其氣密性、化學惰性和光滑表面，使其成為生物MEMS、環(huán)境傳感器等器件的高性能封裝蓋板或基板，提供可靠保護。

在高端光學領(lǐng)域的應用

EAGLE XG玻璃憑借其光學純凈度、穩(wěn)定性和完美的表面特性，正進入精密光學市場。

• 高性能光學基板與窗口片：其低自發(fā)光（低熒光）、高均勻性和低雙折射特性，使其成為極紫外（EUV）光刻系統(tǒng)內(nèi)部、深紫外（DUV）激光光學系統(tǒng)以及高端顯微成像系統(tǒng)中光學元件（如反射鏡基板、窗口）的理想選擇。無堿特性確保了在強激光輻照下的長期穩(wěn)定性。

• 先進鍍膜的理想基底：超光滑、無缺陷的表面是沉積高損傷閾值激光膜、超硬減反射膜和復雜濾光膜的絕佳基底，能獲得更優(yōu)異的附著力、更陡峭的截止邊緣和更高的激光損傷閾值。

• 消費電子光學器件：在智能手機和AR/VR設(shè)備中，可用于制造薄型、高強度的相機鏡頭蓋板、棱鏡、波導基板等，滿足輕薄化和復雜光學設(shè)計的需求。