精密陶瓷制造商
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一、材料特性概述1. 肖特微晶玻璃（SCHOTT Glass-Ceramic）
代表材料包括 ZERODUR®、NEXTREMA®、ROBAX® 等，是德國肖特公司開發的高性能微晶玻璃系列。
其特點是通過受控晶化技術獲得極低熱膨脹系數（幾乎為零），并具有較高的機械強度與熱穩定性。.jpg)
2. 石英玻璃（Fused Silica / Quartz Glass）
由高純度二氧化硅（SiO?）熔融制成，是純度最高、透光性最優、耐高溫性最強的玻璃材料之一。
在半導體與光學領域中是不可替代的關鍵材料。
| 性能指標 | 肖特微晶玻璃（ZERODUR®、NEXTREMA®） | 石英玻璃（Fused Silica） |
|---|---|---|
| 主要成分 | SiO?、Al?O?、TiO?、Li?O 等復合體系 | SiO? ≥ 99.99% |
| 熱膨脹系數 | ≈ 0 ± 0.05 ×10?? /K（近零膨脹） | 0.5 ×10?? /K（極低） |
| 耐溫性能 | 連續工作約 600–800 °C（部分可達900 °C） | 連續工作可達 1000–1200 °C，短時1300 °C |
| 耐熱震性 | 良好，受厚度限制 | 極優，可直接急冷急熱 |
| 透光性能 | 不透紫外，部分型號可透可見光或紅外 | 透紫外、可見與部分紅外，全波段透過率極高 |
| 機械強度 | 高于石英，抗彎強度可達 >100 MPa | 較脆，抗彎強度約 50 MPa |
| 尺寸穩定性 | 極佳，適合精密光學機械結構 | 優秀，但熱形變略大于ZERODUR |
| 純度與雜質控制 | 含少量晶相雜質，不適用于等離子暴露 | 超高純度，適合真空、等離子與化學環境 |
| 成本與加工性 | 可機械加工、拋光性好，成本適中 | 加工難度高、成本高 |
三、在半導體領域的應用區別
| 應用方向 | 肖特微晶玻璃 | 石英玻璃 |
|---|---|---|
| 晶圓檢測與對準平臺 | ? 極低膨脹率，尺寸穩定性優異（ZERODUR®為主） | 可用但熱漂移稍大 |
| 曝光機 / 光刻機結構件 | ? 用作反射鏡基座、光學平臺（ZERODUR®） | 用作透鏡、光學窗、光纖組件 |
| CVD / Etching 腔體零部件 | ? 不耐等離子體及高溫化學環境 | ? 標準材料（石英環、石英舟、石英管） |
| 測試治具 / 光學支架 | ? 尺寸穩定、易加工 | 可用但形變控制較難 |
| 光罩基板 (Mask Blank) | ? 不透明，不適用 | ? 高純度透光材料標準選項 |
在半導體制造中，石英玻璃是工藝接觸材料（如刻蝕腔體、CVD 管、晶舟）的首選；而肖特微晶玻璃（尤其 ZERODUR®）則是結構件、基座、檢測平臺的理想材料，二者功能互補。想了解更多歡迎咨詢：13712574098
