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在半導體制造中,精密部件對于實現(xiàn)高良率、穩(wěn)定性和可靠性至關重要。其中,石英蝕刻環(huán)、聚焦環(huán)和覆蓋環(huán)因其優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、耐化學性和尺寸精度,廣泛應用于等離子蝕刻(RIE、ICP 和 CVD 系統(tǒng)) 什么是石英蝕刻環(huán)? 石英蝕刻環(huán)是安裝在蝕刻室內
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