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什么是碳化硅Pin Chuck-光刻盤? 簡單來說,它是一個(gè)用于在光刻機(jī)中高精度、平整地固定和支撐光掩模版(Reticle)或光刻版(Photomask)的專用夾具。 我們可以把這個(gè)概念拆解開來理解: 核心功能: 固定與支撐
Tag : 碳化硅Pin Chuck,光刻盤
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