碳化硅（SiC）與氮化鋁（AlN）材料性能對比與應用分析          在半導體設備與高端精密制造領域中，碳化硅（SiC）與氮化鋁（AlN）是兩種關鍵的先進陶瓷材料。二者均具有優異的高溫穩定性、機械強度與化學惰性，被廣泛

         在半導體設備與高端精密制造領域中，碳化硅（SiC）與氮化鋁（AlN）是兩種關鍵的先進陶瓷材料。二者均具有優異的高溫穩定性、機械強度與化學惰性，被廣泛應用于半導體制造設備、功率電子封裝、熱管理與真空系統等高端領域。