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多晶硅刻蝕機:半導(dǎo)體制造的精密 “雕刻師”—— 解析氧化鋁刻蝕環(huán)的關(guān)鍵作用 在半導(dǎo)體芯片的復(fù)雜制造流程中,每一個環(huán)節(jié)都如同一場精密的藝術(shù)創(chuàng)作,而多晶硅刻蝕機無疑是其中一位技藝精湛的 “雕刻
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