在半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、OLED/LCD 面板傳輸、真空腔體輸送等移載傳送設(shè)備中，碳化硅（SiC）導(dǎo)軌憑借其獨(dú)特性能，在高速、潔凈、高精度的運(yùn)行環(huán)境中發(fā)揮著關(guān)鍵作用： 1. 高剛性支撐與精準(zhǔn)定位 SiC 導(dǎo)軌具有極高的楊氏模量（~400 GPa），剛性遠(yuǎn)超金屬或工程塑料。