精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568在先進(jìn)半導(dǎo)體制造中，等離子刻蝕設(shè)備對(duì)結(jié)構(gòu)材料的熱穩(wěn)定性、尺寸精度和表面質(zhì)量提出了極高要求 而使用微晶玻璃作為等離子刻蝕腔體可以大幅提升設(shè)備的熱穩(wěn)定性和刻蝕均勻性。微晶玻璃（Zerodur）具備極低的熱膨脹系數(shù)，可達(dá)（CTE ≈ 0 ± 0.02 &ti
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