
| 產(chǎn)品名稱 | 氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件 | 
                        
| 加工精度 | 0.01mm | 
| 是否定制 | 可按圖紙定制 | 
| 粗糙度 | 0.01um | 
| 材料成分 | 氮化硅陶瓷 | 
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! | 
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氮化硅陶瓷
氮化硅陶瓷的一種超硬陶瓷材料,它的硬度比氧化鋁和氧化鋯都高,加工難度極大。目前對氮化硅的加工主要是采取磨削方式,利用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石磨棒產(chǎn)生磨削力,從而達到對陶瓷材料的磨削成型。由于硬度極高,因此加工時的進給以及吃刀量都比較小,加工效率較低,這也是目前氮化硅陶瓷精加工費用較高的原因之一。鈞杰陶瓷針對該材料進行了多項深入研究實驗,總結(jié)出一套行之有效的加工方法,很好的改善了加工中常見的一些問題,使得加工成品品質(zhì)優(yōu)異。



氮化硅(Si?N?)是一種高性能陶瓷材料,具有高強度、耐高溫、耐磨損、優(yōu)異的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用于關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件。其應(yīng)用場景覆蓋了芯片制造的多個核心環(huán)節(jié),從晶圓加工到封裝測試。
氮化硅之所以能成為半導(dǎo)體關(guān)鍵材料,源于其獨特的物理和化學(xué)性能:
耐高溫性:可在 1200°C 以上長期穩(wěn)定工作,耐受半導(dǎo)體制造中的高溫工藝(如薄膜沉積等)。
力學(xué)性能:抗彎強度高達 800-1000 MPa,硬度接近金剛石,抗沖擊和耐磨性能優(yōu)異,適合高精度機械結(jié)構(gòu)。
電學(xué)性能:高絕緣電阻(>10¹? Ω?cm)和低介電常數(shù)(ε≈7-8),滿足高頻和高絕緣需求。
化學(xué)穩(wěn)定性:耐強酸、強堿及等離子體腐蝕,不與半導(dǎo)體工藝中的刻蝕氣體(如 Cl?、F?)或清洗液反應(yīng)。
熱導(dǎo)率可調(diào):通過摻雜或燒結(jié)工藝可調(diào)控?zé)釋?dǎo)率(10-100 W/(m?K)),兼顧隔熱或散熱需求。

